◪行业概括

   电子产业的挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序。电子工艺过程中有机废气具有排放流量大和浓度低的特点。电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。所以必须治理达标才能排放。

   废气主要成分：电子产业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。

   有机类废气有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；

   酸碱类废气有：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

 ◪行业解决方案

   一般来说，当有机废气排风量较大，浓度较低时，其处理方法一般采用沸石转轮吸附浓缩与蓄热氧化RTO相结合的方法，有效处理效率高达95%以上。